Привет, ребята...
Я наткнулся на ту же проблему, пытаясь прошить на "ESP32-C3 Super Mini" -> недействительный заголовок: 0xffffffff

В итоге мне пришлось выполнить следующие шаги, чтобы заставить его работать:

• ESФоме > Установка > Ручная загрузка > современном формате
• Используйте "flash download tool" из Espressif: https://www.espressif.com/en/support/download/other-tools
• Выберите тип чипа: ESP32-C3; Режим работы: развивать; Режим нагрузки: USB
• Загрузите ранее экспортированный *-factory.bin в первое поле, поставьте галочку и запишите его в "0x0"
• СКОРОСТЬ SPI: 40 МГц, SPI MODE: DIO, Убедитесь, что отмечен флажок "DoNotChgBin".
• Нажмите и удерживайте кнопку «Загрузить» на вашем устройстве и подключите USB-кабель к компьютеру. Снова отпустите кнопку:)
• Настройте правильный COM-порт. Бодрате: 115200
• Начало
• Вручную нажмите кнопку сброса на устройстве
• Договорились! Устройство появилось в сети на моей панели управления ESPHome. Теперь все остальное можно делать беспроводным способом.

Надеюсь, это поможет