ФЕДЕРАЛЬНАЯ СЛУЖБА ПО ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СОБСТВЕННОСТИ

Дата регистрации:

03.03.2025

RU 2 835 671 C1

Генератор экстремального ультрафиолетового излучения на основе разряда, поддерживаемого высоким постоянным напряжением в резконеоднородном потоке газа

Автор(ы):

Веселов Алексей Павлович (RU),

Сидоров Александр Васильевич (RU),

Водопьянов Александр Валентинович (RU),

Преображенский Евгений Игоревич (RU)

Патентообладатель(и):

Федеральное государственное бюджетное научное учреждение

"Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики

им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук" (ИПФ РАН) (RU)

Описание:

Изобретение относится к области источников, предназначенных для генерации вакуумного ультрафиолетового (ВУФ) излучения в плазме газового разряда. Технический результат - возможность регулировать эмиссионные параметры плазмы путем варьирования таких параметров, как давление газа в напуске сопла и напряжения на нем, упрощение конструкции источника. Генератор излучения с длиной волны 11,2 нм ±1% из плазмы разряда в газе ксенон содержит расположенное внутри вакуумной камеры сопло системы газонапуска с характерным поперечным размером меньше миллиметра, формирующее «точечный» источник экстремального ультрафиолетового излучения, расположенный в фокусе Брэгговского зеркала.

Сопло системы газонапуска выполнено с заостренным металлическим концом, находящимся вблизи фокуса Брэгговского зеркала. Заостренный конец сопла соединен с высоковольтным проводом, обеспечивающим возможность подачи на него высокого постоянного напряжения, достаточного для возникновения и поддержания разряда вблизи среза сопла, непосредственно в области резко неоднородного перепада давления.

Файл прикреплен.